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스페셜 초임계 공정
  • 초임계 이산화탄소

    스페셜 초임계 공정의 주요 특장점

    심플한 디자인 ㅣ 사용자의 편의성 ㅣ 최고의 안전성

    영업담당 : 042)602-8023

     

     




    Supercritical Cleaning System

    초임계 세정

    - 미세 세공 구조에도 쉽게 침투
    - 확산계수가 액체에 비해 10배이상
    - 환경과 인체에 무해한 친환경적 세정
    - 액체상태 이산화탄소로도 세정 가능

    습식 세정후 패턴 손상                  초임계 이산화탄소 세정후

    초임계 세정

    SPECIFICATION

    Cleaning Vessel 1.5L x 1기
    Max. Working Condition : 550kg/㎠ at 80℃
    Separate Vessel 1L x 1기
    CO2 High Pressure Pump Max. Flow Rate : 1ℓ/min
    Agitator Magnedrive (Bottom)
    Pressure Regulating Electric Control Pressure Regulator
    Pre-Heater & Heating System Inline Double Pipe Type
    Condenser & Cooling System Shell & Tube Type
    Control System PC & Electric Local Type