Supercritical Fluid System
スペシャル超臨界工程
商品要約情報
洗浄、合成、めっき、塗装など目的によって構成や仕様が異なる
主な特長
正確な設備の実現 | カスタムエンジニアリング | 高い安全性
適用分野
半導体洗浄、マイクロマシン洗浄、SCORR、超微細高分子の合成、超臨界めっき、染色工程などに使用
基本（Standard）仕様以外の条件も注文制作が可能ですので、営業担当者とご相談ください。
Supercritical Cleaning System
超臨界洗浄
– 微細孔構造にも容易に浸透
– 拡散係数が液体に比べて10倍以上
– 環境と人体に無害な環境にやさしい洗浄
– 液体状態の二酸化炭素でも洗浄可能
※ 湿式洗浄後のパターン損傷 ⇒ 超臨界二酸化炭素洗浄後
| Series | 超臨界洗浄 |
|---|---|
| Cleaning Vessel | 1.5L x 1基 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 1L x 1基 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 1L/min |
| Agitator | Magnedrive (Bottom) |
| Pressure Regulating | Electric Control Pressure Regulator |
| Pre-Heater & Heating System | Inline Double Pipe Type |
| Condenser & Cooling System | Shell & Tube Type |
| Control System | PC & Electric Local Type |
Supercritical Synthesis System
超臨界合成
– フッ素高分子重合反応や超微細高分子の合成に使用
– 状況に応じて、少量の酸素や過酸化物を原料とともに注入
– 250℃に保たれ、この時超臨界エチレンに高分子エチレンが溶解して排出
– セパレーターで350barに減圧され、回収および排出
| Series | 超臨界合成 |
|---|---|
| Cleaning Vessel | 0.3L x 1基 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 0.3L x 2基 |
| CO2 Storage Vessel | 5L x 1基 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 70L/min |
| Agitator | Magnedrive (Top) |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Touch Panel Type |
Supercritical Plating System
超臨界めっき
– 金属成分とプラスチック（ABS、PS）にメッキ可能
– 排水が発生しない環境にやさしい工法
| Series | 超臨界めっき |
|---|---|
| Main Vessel | 0.3L x 1基 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 0.3L x 2基 |
| CO2 Storage Vessel | 5L x 1基 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 70mL/min |
| Agitator | Magnedrive (Top) |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Touch Panel Type |
Supercritical Painting System
超臨界塗装
– 超臨界二酸化炭素を用いて塗料を混合
– 生成・搬送・混合・供給・塗料噴射ノズル装置で構成
| Series | 超臨界塗装 |
|---|---|
| Main Vessel | 0.5L x 1基 / Max. Working Condition : 200kg/cm2 at 95℃ |
| Mixing Vessel | 0.3L x 1基 / Inserted Zirconia Ball Type |
| Static Mixer | 0.5L x 1基 / Paint + scCO2 Mixing |
| CO2 Gas Booster System | 5L x 1基 |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Electric Box Type |
