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High Temperature Autoclave
HAシリーズ半導体パッケージング用加圧オーブン

商品要約情報
エポキシ樹脂を硬化させるとともに、気体を用いた一定圧力で等方向圧縮を加え、内部気泡や空隙などを除去する設備で、硬化と脱泡工程を同時に進行して工程効率が高い

主な特長
ユーザーの利便性 | 均一な温度制御 | 最高の安全性

適用分野
高温で使用可能な加圧オーブンで、主に半導体パッキング工程用に利用

基本(Standard)仕様以外の条件も注文制作が可能ですので、営業担当者とご相談ください。

High Pressure Vessel

安全なデザインで設計

– ASMEに基づいて設計
– 国内産業安全とガス安全検査の進行
– 中国SEL認証可能

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Fan System

クリーンルームに特化した構成

– 駆動部の一体化で粉塵のないシステム
– 回転部安全カバー取付
* Material : SUSを使用

Heating System

簡単に取り外し可能

– 最高の条件のAirの流れのための100%ガイド
– 損失を最小限に抑えるための設計

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Main O-ring

Oリング寿命延長
温度に合わせた材質選定
異物の発生なし

PCO – HAシリーズ

温度/圧力 TEST DATA

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V.F.T(Valves, Fittings & Tubing)

20年以上のノウハウで完璧な配管処理!

高圧使用に問題のない材料選定、一目でわかるフローチャート

Main control panel

簡単な操作と
優れた性能のコントロールパネル

Series HA-6322 HA-6622 HA-7622 HA-7822 HA-8422
Inside diameter (㎜) 680 720 760 800
Inside depth (㎜) 350 630 800 400
Pressure (bar) 20
Temperature (℃) 200
Material SUS304

Order-made Type 選定方法

Type Inside diameter Inside depth Pressure Temperature (℃)
A / B / B" (選定) Ø (計算) C (選定) 使用最大値 (bar) 使用最大値 (℃)

注意事項

  1. 1次トレイ台車の幅を選定 (A選定基準)
  2. 2次トレイ/台車の高さと単数を選定 (B/B”選定基準)
  3. 上記2つのAとBが選定された場合、Inside diameter(Ø)を求める方法はA(下辺)、B(高さ)、C(斜辺)というときAとBを知っているので、Cを求めれば良い。
  4. 斜辺(C)の平方=下辺(a)の平方+高さ(b)の平方
  5. 斜辺(C)mm + 50mm = 内径(Ø)
Series Working Vessel Dia
(㎜)
Working Temp.
(℃)
Working Pressure
(kg/cm2)
Temp. UNIFORMITY Pressure UNIFORMUTY Dimension
(WxDxH)
PCO - HA Ø 800 X 400
[2chamber]
~ 80 ~ 20 ±3 ℃ 以内 ±3 bar 以内 2,910 X 1,912 X 1,854
製品紹介書
カタログ